• 1、長春打印機(jī)，在你扛不住的時候是怎么熬過來的？
• 2、你認(rèn)識摳門的人有多摳門？
• 3、我想在室內(nèi)種植一些藤類植物？
• 4、值機(jī)是什么意思？
• 5、**自己研制光刻機(jī)的前景如何？

1、長春打印機(jī)，在你扛不住的時候是怎么熬過來的？

每個人都有難熬的時候，怎么辦？扛啊！只要人不**，就往**里扛！總會過去的，人生就像一條河，深淺都要過的。你不咬牙挺過去，就會被河水淹**。

再說誰的人生是一帆風(fēng)順的？不如意者十有**吧！也就是說，每個人都會遇到難熬的時候，自己也并不是最不幸的那一個。當(dāng)然，我也不例外，那談?wù)勎矣龅诫y熬的時候，是怎樣扛過來的吧！

我最難熬的時候，就是我確診后，做手術(shù)的那段時間，剛剛確診，心里還沒有完全接受，也害怕手術(shù)，腦子整天胡思亂想，失眠，心情糟透了，經(jīng)濟(jì)壓力也大，想動手術(shù)，可手中沒有一點錢，因為剛剛買完新房，正是沒錢的時候，當(dāng)時真是心力交瘁啊！動完手術(shù)后，身體又是各種不適，經(jīng)常有護(hù)士過來，催你交費。那種糟糕的心情，真是無以言表。

有時也想過要放棄，真害怕苦和罪都受完了，錢也花了，人也留不住，最后再來個人財兩空，可想想年幼的孩子，再想想父母，我又動搖了，如果我放棄了，他們怎么辦？所以再難也要挺過去，支撐我們熬過去的精神力量就是孩子和父母。孩子未成年，需要我們?nèi)狃B(yǎng)，這是我們的責(zé)任；父母已老，需要我們?nèi)ベ狆B(yǎng)，這是我們應(yīng)盡的義務(wù)！為了他們我們再苦再難也要挺過去！每次都告訴自己，一定要堅持，父母和孩子在等著我呢。

靠著這種信念，自己也就慢慢熬了過來，回頭再想想也沒什么啦！當(dāng)時的感覺就是塌天的感覺。所以遇到問題，先別害怕，先讓自己冷靜下來，再去找辦法，請相信“辦法總比困難多”咬牙堅持下去，一切總會過去的。山窮水盡疑無路，柳暗花明又一村。

2、你認(rèn)識摳門的人有多摳門？

我曾經(jīng)的同事小云，在她十**歲的時候就是廠里公認(rèn)最摳門的人。雖然她很摳門，但卻沒有人討厭她，相反大家都很佩服她。

在2003年的時候，我們在一家制衣廠工作，那時候我們上班在一個車間，住也在一個宿舍，可以說對她是相當(dāng)了解了。我們倆都是坐平車，小云速度比我快，每個月總是比我多那么兩三百塊錢。

廠里是包吃包住的，但說實話，伙食實在是一般，感覺什么菜都是甩一瓢水煮熟的，時間長了每天都難以下咽，吃飯成了一種折磨。唉，想起來都是淚啊。

很多工友都會買些下飯菜帶去改善伙食。但我從來沒有見她買過一次。因為她年紀(jì)小，大伙碰到她也總是會分享給她吃。

她給我的感覺是挺有原則的，每次都會推辭下，盛情難卻的樣子，第二夾一點，也不會很多，還很禮貌地說謝謝。

大家都覺得她很有趣，做事有點像家里的老太太一樣，也愿意給她吃。

因為飯?zhí)没锸程盍耍看渭影嗷貋砜偸怯X得饑腸轆轆的。

在廠區(qū)的對面有個夜市，三塊錢一份的快餐，有一大盒米飯，還有一大盒菜，想要吃肉的話，就加兩塊錢。都是現(xiàn)炒的，味道比廠里的不知道好吃多少。

我?guī)缀趺刻焱砩隙家ベI來吃，實在是太餓了，不吃睡不著覺。就那樣每天吃夜宵，那時還是我最瘦的時候，一百斤不到。

可小云從來不吃夜宵，平時飯?zhí)玫娘埐嗽俨缓贸运矔M(jìn)去一大碗，就是為了晚上不挨餓。

每次發(fā)工資的時候是我們最開心的時候，大家都會結(jié)伴去超市里買回一堆零食水果，塞滿床底下的桶，給我們滿滿的幸福感。

她每次也會跟我們一起去，但是從來不買吃的，只買必需的日常用品。買東西的時候也會精挑細(xì)選，從架子這頭看到那頭，必須買性價比最高的。

小云每個月的工資買完東西后剩下的錢留100塊應(yīng)急，其余都存到了銀行。

我們經(jīng)常會覺得神奇，她這么小，怎么就那么會過日子呢？

休息日有的時候去公園逛逛，那真的是逛逛，絕對不會花一分錢，連瓶水都不會買。多渴都忍著。

后來我發(fā)現(xiàn)她一包姨媽巾能用好久，好奇地問她，她淡定地說，每次墊些紙在上面，換的時候把紙拿掉，一天一片就好了。我驚訝極了，原來還可以這樣**作？

至于牙膏要把皮破開用完，洗發(fā)水用完了灌點水還能用個把月，一個毛巾用得這邊能看到那邊也舍不得扔。反正，只要能將就的東西一定會將就到底。

她雖然很摳門，但從來不會隨便占別人的便宜。這也是雖然她很摳，但大家并不討厭她的主要原因。次要原因嘛是她長得漂亮。

小云屬于那種溫婉的鄰家小妹妹型，喜歡她的男生不少。十**歲正是如花的年紀(jì)啊，情竇初開 ，有男生追求，心里總是有些小小的沾沾自喜。

后來小云和一個我們車間公認(rèn)最帥的男孩談起了戀愛，可是沒過多久，兩人又分手了，原因在我們看來有些好笑。

那男孩追求到了心儀的女孩很高興，經(jīng)常會給小云買好吃的，可是沒過多久當(dāng)男孩子提出想要給小云買衣服的時候，小云提出了分手。

男孩實在想不通怎么回事，自己明明對她那么好，為什么要和他分手了。他托我們幫他打聽一下，看看小云的想法。也看看還能不能挽回。

小云給我們的**讓當(dāng)時的我覺得很不可思議，她說覺得男孩花錢花得太多了，她不知道談戀愛要花那么多錢。她還不起男孩的情，總覺得欠他的，

我們覺得她的想法很搞笑，男朋友給女朋友花錢不是正常的嗎？

小云說，可是我沒有什么可以還他的。這樣一直收人家的東西，我覺得很有壓力。還不如就分手了。

那時好多人都覺得小云傻，放著免費的提款機(jī)不用。但我挺佩服她的，能抵住誘惑的人真不多。

現(xiàn)在看來，小云當(dāng)時的決定是正確的，兩個人的消費觀念完全不同，如果走到最后肯定也很難愉快收場。

從那以后，小云不敢再輕易接受男孩的追求。

有次，在宿舍閑聊的時候，一個大姐問她，小云，你那么省，現(xiàn)在存了不少錢了吧？

小云有些不好意思地說，沒有啊，我沒有存多少錢。

大姐表示不相信，你一個月工資比我們都多，花得比我們都少，我一年都存了一萬多了呢，你肯定最少三萬。

小云有點無奈地說，我的錢很多都寄回去了。那時我們才知道，小云居然是家里的頂梁柱。

她父母早亡，家里還有個弟弟和奶奶相依為命，小云要負(fù)擔(dān)弟弟高中的學(xué)費生活費還有家里的大部分開支。

奶奶年紀(jì)大了，做不了什么工作，只能撿些廢品賣，減輕下小云的負(fù)擔(dān)。從那以后，宿舍的人簡直對小云肅然起敬，難怪她會那么拼命地工作，那么拼命地省錢。這一切突然就得到了完美的解釋。

小云說，再過兩年弟弟考上大學(xué)就好了，弟弟說，上大學(xué)了他就去勤工儉學(xué)，減輕她的壓力。說到弟弟的時候，小云有些難掩的自豪。

想必就是這種家人之間互相體貼，互相理解才讓小云能堅持對自己這么狠吧。

現(xiàn)在想想小云這應(yīng)該也不能算是摳門，畢竟她摳的都是她自己，不會主動去占人家的**宜，而且她摳下來的錢都給了自己的家人花了。

現(xiàn)在我們早就已經(jīng)天各一方了，她想必也早已苦盡甘來了。但她對我的影響還在，讓我遇到困難的時候能勇往直前，不退縮；遇到誘惑的時候能保持清醒的頭腦。

雖然大家都說她很摳門，但我卻覺得她不能說是摳門，而且她有幾大特點讓別人無法討厭她：

1.樂觀堅強，沒有因為生活的不如意而自怨自艾，而是想辦法解決問題。

2.勇于承擔(dān)責(zé)任，當(dāng)她失去了父母的庇護(hù)之后，勇敢地承擔(dān)起了家庭的責(zé)任。把自己當(dāng)成了家里的頂梁柱。

3.三觀正，面對誘惑，保持理智，堅持自己的底線，碰到喜歡自己對自己好的人，不一味索取，貪得無厭

4.有原則有底線，雖然對自己摳，但不愿意占別人便宜。

我相信，小云并不是一開始就這么摳門的。她也是父母的小寶貝兒。

只是生活的變故，讓她幼小的肩膀早早地扛起了生活的重?fù)?dān)，壓力太大，只好把自己的需求壓縮到極致，像一棵生長在石縫里的小草一樣，不懼風(fēng)吹雨打，頑強地生活著。

對這個堅強的小女孩，我不想說她是摳門，我佩服她在面對生活的重?fù)?dān)的時候，選擇努力承擔(dān)責(zé)任的勇氣。現(xiàn)在只祈禱她苦盡甘來后能回歸到正常的生活上來，對自己好一點。

小云的故事也告訴我，面對命運的不公平，最好的辦法是奮起反擊，因為總有一天會峰回路轉(zhuǎn)的。

我覺得她這種不能算摳，頂多算是極致的節(jié)約吧？你們說呢？

3、我想在室內(nèi)種植一些藤類植物？

你好，很高興回答你的問題！

如果你想要在室內(nèi)養(yǎng)一些可以爬藤的植物，下面這7種肯定有適合你的，它們有的喜歡水分，有的喜歡陽光，有的喜歡遮陰的環(huán)境，有的養(yǎng)在窗臺上就能開花，一起來看看都有哪些吧。

1. 綠蘿，綠蘿是室內(nèi)最容易生長的盆栽植物之一，它的耐陰性非常好，養(yǎng)在陽光充足的地方，反而容易曬傷葉片。綠蘿是一種特別適合新手養(yǎng)護(hù)的植物，它對光照需求比較少，將在室內(nèi)遮蔭處，可以等盆土干透澆透，在春夏季節(jié)可以適當(dāng)增加澆水頻率，保持盆土微潤。

2. 愛之蔓，是一種非常靚麗可愛的多肉植物，它適合養(yǎng)在窗臺上，養(yǎng)護(hù)的位置需要有明亮的光線或適當(dāng)?shù)纳⑸涔猓⒁獗苊忸l繁澆水，要讓盆土完全干透之后澆水，它對水分的需求不大，因為它的根系下面會長一些塊莖，能夠儲存水分。養(yǎng)護(hù)愛之蔓一定要用排水非常好的沙質(zhì)土，避免盆土積水，養(yǎng)護(hù)的溫度要保持在五度以上避免凍傷。

3. 珍珠吊蘭，適合養(yǎng)在吊盆里的多肉植物，不需要經(jīng)常打理，這種多肉植物非常耐旱，在明亮的光線或散射光的條件下生長良好。珍珠吊蘭看上去非常靚麗，養(yǎng)護(hù)需要排水好的沙質(zhì)土，避免頻繁澆水，養(yǎng)護(hù)的位置要通風(fēng)透光，保持常年溫暖的環(huán)境，最低養(yǎng)護(hù)溫度要在五度以上，避免凍傷。

4. 三角梅，身在南國，這姹紫嫣紅的三角梅再熟悉不過，葉連葉、枝連枝、鮮亮熱烈。在開得最絢爛多彩的時候，那紅色的、紫色的中間幾乎找不到綠葉的影子.三角梅怕積水，不耐澇，必須選擇疏松、排水良好的培養(yǎng)土，以免植株爛根**亡。一般可選用腐殖土4份、園土4份、沙2份配制的培養(yǎng)土，也可使用曬干塘泥摻些煤餅渣作盆土。

5. 垂葉榕，可以提高房間的濕度，有益于我們的皮膚。還可以吸收甲醛、二甲苯及氨氣并凈化混濁的空氣。 此外，垂葉榕的小型葉片使它們成為房間里的漂亮裝飾，它經(jīng)常被室內(nèi)設(shè)計師用來營造歡快的氛圍

新手也可以很好的種植，快來試試吧，有什么建議可以再評論區(qū)留言哦

4、值機(jī)是什么意思？

國航當(dāng)然可以辦理網(wǎng)上值機(jī)了，也就是人們常說的網(wǎng)上打印登機(jī)牌、選擇座位、累計里程。 直接登陸國航網(wǎng)站，之后在下方選擇“辦理乘機(jī)手續(xù)”，輸入姓名、身份證、手機(jī)號，選擇航程的始發(fā)站，這之前，可以先在網(wǎng)站上看一下，現(xiàn)在國航都開通多少個城市的網(wǎng)上值機(jī)了，大概有33個了，國內(nèi)的大城市都包括了。 之后，就可以自己網(wǎng)上選擇座位、累計里程、打印登機(jī)牌。在北京的旅客，如果自己家里沒有打印機(jī)，還可以在網(wǎng)上選擇完座位后，去機(jī)場的自助值機(jī)設(shè)備打印登機(jī)牌。3月26日，國航的所有航班就要在首都機(jī)場3號航站樓起落，所有登機(jī)手續(xù)都要在3號航站樓辦理。 3月26日，就千萬不要再去2號航站樓了。 附加一個可辦理網(wǎng)上乘機(jī)登記手續(xù)的始發(fā)城市列表“ 北京 每日12:00后可辦理次日所有北京始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 大連 每日14:00后可辦理次日所有大連始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 成都 每日13:00后可辦理次日部分成都始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 深圳 每日15:00后可辦理次日所有深圳始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 廈門 每日13:00后可辦理次日所有廈門始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 桂林 每日13:00后可辦理次日所有桂林始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 貴陽 每日13:00后可辦理次日部分貴陽始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 重慶 每日13:00后可辦理次日所有重慶始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 西安 每日16:00后可辦理次日所有西安始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 武漢 武漢辦理時間為航班起飛前48小時至2小時。 海口 海口辦理時間為航班起飛前12小時至2小時。 廣州 每日14:00后可辦理次日所有廣州始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。超重超大的行李需要前往L1－7號柜臺辦理托運手續(xù)。 杭州 每日13:00后可辦理次日部分杭州始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。您到達(dá)杭州機(jī)場后請先到國航2號值機(jī)柜臺辦理確認(rèn)手續(xù)。 南京 每日16:30后可辦理次日全部南京始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。您到達(dá)南京機(jī)場后請先到國航補票柜臺辦理確認(rèn)手續(xù)。 沈陽 每日14:00后可辦理次日部分沈陽始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 福州 每日20:00后可辦理次日部分福州始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 天津 每日14：00后可辦理次日部分天津始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 南寧 每日13：00后可辦理次日全部南寧始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。登機(jī)口將在航班起飛前20分鐘關(guān)閉，請您及時登機(jī)。 呼和浩特 每日13：00后可辦理次日全部呼和浩特始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 長沙每日18：00后可辦理次日部分長沙始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 常德 每日18：00后可辦理次日部分常德始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。您到達(dá)常德機(jī)場后請先到國航值機(jī)柜臺重新?lián)Q取登機(jī)牌。 張家界 每日18：00后可辦理次日部分張家界始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 鄭州每日14：00后可辦理次日部分鄭州始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 長春每日14：00后可辦理次日部分長春始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。您到達(dá)長春機(jī)場后請先到國航值機(jī)柜臺重新?lián)Q取登機(jī)牌。 哈爾濱每日12：00后可辦理次日部分哈爾濱始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。 合肥每日18：00后可辦理次日部分合肥始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。您到達(dá)合肥機(jī)場后請先到國航值機(jī)柜臺重新?lián)Q取登機(jī)牌，國際航班國內(nèi)段暫不辦理。 **每日20:30后可辦理次日部分**始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。國際航班國內(nèi)段暫不辦理。 煙臺每日17:00后可辦理次日部分煙臺始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。國際航班國內(nèi)段暫不辦理。 上海虹橋每日14:00后辦理次日部分虹橋始發(fā)國內(nèi)京滬快線航班乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。國際航班國內(nèi)段暫不辦理.乘京滬快線航班旅客從虹橋機(jī)場安檢二區(qū)通過安檢。頭等艙、公務(wù)艙、星空聯(lián)盟金卡旅客請持登機(jī)牌和會員卡到48號值機(jī)柜臺領(lǐng)取貴賓室休息卡。 蘭州每日16:00后可辦理次日部分蘭州始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。國際航班國內(nèi)段暫不辦理。 上海浦東每日14:00后辦理次日部分浦東始發(fā)國內(nèi)京滬快線航班乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前3小時停止辦理。國際航班國內(nèi)段暫不辦理。頭等艙、公務(wù)艙、星空聯(lián)盟金卡旅客，請持登機(jī)牌和會員卡到B島26號頭等艙柜臺領(lǐng)取貴賓室休息卡。 常州每日14:00后可辦理次日部分常州始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。國際航班國內(nèi)段暫不辦理。 青島每日15:00后可辦理次日部分青島始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。國際航班國內(nèi)段暫不辦理。 威海每日17:00后可辦理次日部分威海始發(fā)國內(nèi)航班的乘機(jī)手續(xù)，航班起飛前2小時停止辦理。您到達(dá)威海機(jī)場后請先到國航指定值機(jī)柜臺換取登機(jī)牌，國際航班國內(nèi)段暫不辦理。是否可以解決您的問題？

5、**自己研制光刻機(jī)的前景如何？

半導(dǎo)體制造工藝復(fù)雜，制造一顆芯片要經(jīng)過很多的工序，每一個工序都有核心的技術(shù)，光刻也是其中之一，光刻機(jī)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中重要的設(shè)備。芯片制造可以用點石成金來形容，從最初的硅晶片到芯片價值可以翻12倍。當(dāng)原材料加工成晶圓后，將感光材料覆蓋在晶圓上，利用光刻機(jī)光線的反射將復(fù)雜的電路圖**到感光材料上，再用刻蝕機(jī)將暴露出來多余的硅片刻蝕掉。經(jīng)過離子注入其它復(fù)雜的工藝便有了半導(dǎo)體的特性，最后進(jìn)行測試，分割，封裝完成成品芯片。這些流程中，光刻機(jī)起到了很重要的作用。

以便大家更直觀地了解光刻，我們再以日常生活中的常見事物為例：LED燈是節(jié)能環(huán)保的綠色能源，它正是利用光刻機(jī)加工出的微納結(jié)構(gòu)（P、N結(jié)）實現(xiàn)發(fā)光；電視、手機(jī)、電腦之所以能夠顯示各種圖像，是源于光刻機(jī)在面板內(nèi)部加工出每個像素對應(yīng)的多種微納結(jié)構(gòu)；計算機(jī)更是光刻技術(shù)的集中體現(xiàn)，CPU、內(nèi)存、主板、顯卡等都是光刻加工的產(chǎn)物，正是得益于光刻機(jī)技術(shù)的進(jìn)步（最小加工尺寸減小），使得我們的CPU越來越快、內(nèi)存越來越大；汽車之所以知道空調(diào)溫度、安全帶是否系緊、車門是否關(guān)好、當(dāng)前車速、油量等等信息，正是源于利用光刻技術(shù)所加工的各種**傳感器；機(jī)器人之所以能夠完成各種復(fù)雜動作，也是利用光刻機(jī)所加工的各種控制芯片、傳感器，實現(xiàn)運動控制；利用光刻機(jī)加工的納米微針，能夠?qū)崿F(xiàn)無痛注射，減輕病人痛苦……光刻機(jī)的應(yīng)用在現(xiàn)代生活中不勝枚舉。

作為制造芯片的核心裝備，光刻機(jī)一直是**的技術(shù)弱項,其技術(shù)水平嚴(yán)重制約著**芯片技術(shù)的發(fā)展。荷蘭A**L公司的光刻機(jī)設(shè)備處于世界先進(jìn)水平，日本光刻設(shè)備大廠（如佳能和尼康）都逐漸被邊緣化，國內(nèi)更是還有很大的差距，目前光刻機(jī)設(shè)備82%的市場都被荷蘭A**L公司壟斷，最先進(jìn)7nm、5nm工藝的光刻機(jī)設(shè)備也只有A**L公司制造，我國也有在研發(fā)生產(chǎn)光刻機(jī)，但技術(shù)水平還比較落后，無法滿足現(xiàn)代芯片工藝要求。

光刻機(jī)的中外發(fā)展史對比

**的光刻機(jī)研制在70年代后期起步，初期型號為接觸式或接近式光刻機(jī)，85年完成第一臺分步光刻機(jī)，此后技術(shù)一直在推進(jìn)。

1977年，我國最早的光刻機(jī)GK-3型半自動光刻機(jī)誕生，JKG-3型光刻機(jī)是當(dāng)時國內(nèi)較先進(jìn)的制造中大規(guī)模集成電路的光刻設(shè)備，這是一臺接觸式光刻機(jī)。（吳先升.φ75毫米圓片半自動光刻機(jī)[J].半導(dǎo)體設(shè)備,1979(04):24-28.）

JKG-3型光刻機(jī)

1978年，1445所在GK-3的基礎(chǔ)上開發(fā)了GK-4，把加工圓片直徑從50毫米提高到75毫米，自動化程度有所提高，但同樣是接觸式光刻機(jī)。

同期，中科院半導(dǎo)體所開始研制JK-1型半自動接近式光刻機(jī)，于1981年研制成功兩臺樣機(jī)。

而美國在20世紀(jì)50年代就已經(jīng)擁有了接觸式光刻機(jī)，期間相差了二十幾年。此時的光刻機(jī)巨頭A**L還沒有出現(xiàn)（1984年，A**L才誕生），日本的尼康和佳能已于60年代末開始進(jìn)入這個領(lǐng)域。

1979年，機(jī)電部45所開展了分步光刻機(jī)的研制，對標(biāo)的是美國的4800DSW。1985年，研制出了樣機(jī)，通過電子部技術(shù)鑒定，認(rèn)為達(dá)到4800DSW的水平。如果資料沒有錯誤，這應(yīng)當(dāng)是**第一臺分步投影式光刻機(jī)，采用的是436納米G線光源（周得時.為研制我國自己的分步光刻機(jī)(DSW)而拼搏[J].電子工業(yè)專用設(shè)備,1991(03):30-38.）。按照這個時間節(jié)點算，**在分步光刻機(jī)上與國外的差距不超過7年（美國是1978年）。

1990年3月，中科院光電所研制的IOE1010G直接分步重復(fù)投影光刻機(jī)樣機(jī)通過評議，工作分辨率1.25微米，主要技術(shù)指標(biāo)接受美國GCA8000型的水平，相當(dāng)于國外80年代中期水平。

國家在2000年前后啟動了193納米ArF光刻機(jī)項目。而A**L已經(jīng)開始EUV光刻機(jī)的研發(fā)工作，并于2010年研發(fā)出第一臺EUV原型機(jī)，由三星、臺積電、英特爾共同入股推動研發(fā)。這足足落后A**L 20多年。

**目前能生產(chǎn)光刻機(jī)的廠家及技術(shù)現(xiàn)狀

1、上海微電子裝備有限公司

上海微電成立于2002年3月，鄰近國家集成電路產(chǎn)業(yè)基地、國家半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)基地和國家863信息安全成果產(chǎn)業(yè)化（東部）基地等多個國家級基地。該公司自主研發(fā)的600系列光刻機(jī)，已經(jīng)實現(xiàn)90nm的量產(chǎn)，目前正在研究65nm的工藝。

上海微電子的封裝光刻機(jī)在市場上的占有率就相當(dāng)?shù)母吡耍绕湓趪鴥?nèi)的市場上。其后道封裝光刻機(jī)已經(jīng)可以滿足各類先進(jìn)的封裝工藝，且具備向客戶批量供貨的能力，還出口到了國外。上海微電子的芯片后道封裝光刻機(jī)在國內(nèi)的市占率有80%，在全球的市占率達(dá)40%。另外，該公司研制并用于LED制造的投影光刻機(jī)，在市場上的占有率為20%。

2、中子科技集團(tuán)公司第四十五研究所國電

中子科技集團(tuán)公司第四十五研究所國電，隸屬于**電子科技集團(tuán)有限公司，其在CMP設(shè)備、濕化學(xué)處理設(shè)備、光刻設(shè)備、電子圖形印刷設(shè)備、材料加工設(shè)備和先進(jìn)封裝設(shè)備等領(lǐng)域具有較強的優(yōu)勢。目前，其光刻設(shè)備已經(jīng)實現(xiàn)1500nm的量產(chǎn)。

3、合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司

合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司成立與2006年4月，是國內(nèi)首家半導(dǎo)體直寫光刻設(shè)備制造商。該公司自主研發(fā)的ATD4000，已經(jīng)實現(xiàn)最高200nm的量產(chǎn)。

4、先騰光電科技有限公司

先騰光電成立于2013年4月，已經(jīng)實現(xiàn)最高200nm的量產(chǎn)，在2014國際半導(dǎo)體設(shè)備及材料展覽會上，先騰光電亮出了完全自主知識產(chǎn)權(quán)的LED光刻機(jī)生產(chǎn)技術(shù)，震驚四座。

5、無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司

無錫影速成立與2015年1月，影速公司是由中科院微電子研究所聯(lián)合業(yè)內(nèi)資深技術(shù)團(tuán)隊、產(chǎn)業(yè)基金共同發(fā)起成立的專業(yè)微電子裝備高科技企業(yè)。影速公司已成功研制用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的激光直寫/制版光刻設(shè)備、國際首臺雙臺面高速激光直接成像連線設(shè)備（LDI），已經(jīng)實現(xiàn)最高200nm的量產(chǎn)。

目前我國能生產(chǎn)光刻機(jī)的企業(yè)有上述5家，其中最先進(jìn)的是上海微電子裝備有限公司，光刻機(jī)量產(chǎn)的芯片工藝是90納米。據(jù)業(yè)界傳言，上海微電子也已經(jīng)在對65nm制程的前道光刻設(shè)備進(jìn)行研制（目前正在進(jìn)行整機(jī)考核）。光刻機(jī)技術(shù)到了90nm是一個很關(guān)鍵的臺階，設(shè)備制造商一旦邁過90nm的臺階，后面就很容易研制出65nm的光刻設(shè)備，之后再對65nm的設(shè)備進(jìn)行升級，就可以研制出45nm的光刻機(jī)。有業(yè)者預(yù)估，上海微電子的光刻機(jī)設(shè)備有望在未來幾年內(nèi)達(dá)到45nm的水平。

一臺“分辨力最高”真能打破國際壟斷局面？

在去年年底，11月29日，由**科學(xué)院光電技術(shù)研究所承擔(dān)的超分辨光刻裝備項目在成都通過驗收，作為項目重要成果之一，**科學(xué)家研制成功世界上首臺分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備，并形成一條全新的納米光學(xué)光刻工藝路線，具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)。據(jù)介紹，該項目組經(jīng)過近7年攻關(guān)，突破多項關(guān)鍵技術(shù)，完成國際上首臺分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備研制，單次曝光最高線寬分辨力達(dá)到22納米。22納米的光刻機(jī)可以刻出來10納米的芯片。因為紫外光最小十納米，所以說十納米以下都得用多重曝光。——“結(jié)合雙重曝光技術(shù)后，未來還可用于制造10納米級別的芯片”。

當(dāng)時央視對此臺光刻機(jī)如此報道：

超分辨光刻裝備項目的順利實施，打破了國外在高端光刻裝備領(lǐng)域的壟斷，為納米光學(xué)加工提供了全新的解決途徑，也為新一代信息技術(shù)、新材料、生物醫(yī)療等先進(jìn)戰(zhàn)略技術(shù)領(lǐng)域，基礎(chǔ)前沿和國防安全提供了核心技術(shù)保障。

項目副總設(shè)計師、中科院光電技術(shù)研究所研究員胡松介紹：“第一個第一表現(xiàn)于我們現(xiàn)在的水平和國際上已經(jīng)可以達(dá)到持一致的水平。分辨率的指標(biāo)實際上也是屬于國外禁運的一個指標(biāo)，我們這項目出來之后對打破禁運有很大的幫助。”

“第二個如果國外禁運我們也不用怕，因為我們這個技術(shù)再走下去，我們認(rèn)為可以有保證。在芯片未來發(fā)展、下一代光機(jī)電集成芯片或者我們說的廣義芯片（研制領(lǐng)域），有可能彎道超車走在更前面。”

然而，事實上真的如此嗎？連日本設(shè)備大廠都逐漸被邊緣化的光刻機(jī)技術(shù)，真的被“7 年”磨一劍的中科院光電追趕上了嗎？**：肯定不是真的。

國際上首臺分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備的出現(xiàn)，并不意味著**的芯片制造立刻就能突飛猛進(jìn)。中科院光電所的這臺光刻機(jī)還有一定的局限，據(jù)介紹，目前這個裝備已制備出一系列納米功能器件，包括大口徑薄膜鏡、超導(dǎo)納米線單光子探測器、切倫科夫輻射器件、生化傳感芯片、超表面成像器件等，驗證了該裝備納米功能器件加工能力，已達(dá)到實用化水平。

也就是說，目前該裝備主要適合生產(chǎn)制造一些光學(xué)等領(lǐng)域的器件。其工業(yè)之路仍有較長一段路要走。這臺“超分辨光刻”裝備只可應(yīng)用在小批量、小視場（幾平方毫米）、工藝層少且套刻精度低、低成品率、小基片尺寸（4英寸以下）且產(chǎn)率低（每小時幾片）的一些特殊納米器件加工。但是在看到其線寬分辨率優(yōu)勢的同時，同樣需要看到與主流商用的ArF浸沒式投影光刻機(jī)相比，其在視場、成品率、套刻精度及產(chǎn)率上的不同。所以其工業(yè)之路還比較坎坷。

有網(wǎng)友表示，以目前的技術(shù)能力，這臺設(shè)備只能做周期的線條和點陣，是無法制作復(fù)雜的IC需要的圖形的。所以，無法撼動A**L在IC制造領(lǐng)域分毫的地位。(摘自網(wǎng)絡(luò))